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洁净室净化车间、洁净区的洁净度主要有净化空调系统送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的洁净空间。为此,测定洁净室净化车间或洁净设施的送风量、平均风速、在洁净室的送风均匀性、气流流向及流型方向还是有必要。
单向流净化车间主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其在净化车间送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,洁净度高,同时洁净室自净时间也短。
非单向流洁净室主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注净化车间的各部位的洁净级别。
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