河北工业净化车间无尘车间设计建设降低能耗后期使用方案

         空气洁净度级别取决于所完成的工序。最敏感的接触敞露晶园净化车间的工序(光刻 、酸洗 溅射)生产特征尺寸为1微米的微电路时,上述工局应在ISO4-ISO5级洁净度的洁净室中完成。若采用更小的特征尺寸时,便需要ISO3级,ISO2级等洁净区。在需要ISO5级洁净度(国外标准209D的100级)的工艺方面,广泛采用这样的方案,即高洁净度级别的净化车间洁净室占用很大面积。因此便将设备移至洁净室外面,仅有设备控制盘和进出料机构在净化车间洁净室内,而设备本身位于洁净度级别较低的技术维修区,当特征尺寸在1微米左右时,可采用这种工艺。洁净度级别更高的局部洁净区获得了广泛的应用,例如光刻间,化学酸洗间,清洗间等。直通式防护,区域防护和所谓工艺厅都是适合此种工艺的典型洁净室方案。因此高洁净度级别净化车间洁净室占用着过多的面积。对洁净度的要求还会讲一步提高 若仍按传统的洁净室概念去对待,必将导致解决方案的非常不合理,其出路就是采用隔离工艺。对工业净化车间洁净室产生污染物可以避免第二次污染在河北做工业净化车间、精密制造净化车间、镜片净化车间装修设计找2024新澳门原料网大全47419

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